Máy bơm chân không thay đổi thể tích của buồng bơm hoặc truyền động lượng của khí thông qua các phương tiện cơ học hoặc vật lý để tạo thành chênh lệch áp suất để đạt được lực hút khí và xả khí, do đó tạo ra môi trường chân không.
Nguyên tắc làm việc của bơm chân không chủ yếu được chia thành hai loại: loại thể tích thay đổi và loại truyền động. Các nguyên tắc cụ thể và các loại bơm điển hình như sau:
1. Bơm chân không thể tích biến đổi
Việc hút, nén và ống xả đạt được bằng cách thay đổi định kỳ thể tích của buồng bơm. Cốt lõi là sự thay đổi của không gian kín gây ra bởi chuyển động cơ học:
Water vòng máy hút bụi
Nguyên tắc: Rôto lệch tâm xoay để ném chất lỏng làm việc (như nước) vào vỏ bơm để tạo thành vòng chất lỏng, và không gian thể tích biến hình hình lưỡi liềm được hình thành giữa vòng chất lỏng và lưỡi dao. Khí được hút vào từ phía mở rộng và thải ra sau khi được nén khi âm lượng giảm.
Các tính năng: Nén đẳng nhiệt, thích hợp cho các khí dễ cháy, nổ hoặc bụi; Mức độ chân không cuối cùng thấp (2000 ~ 4000Pa).
Bơm chân không cánh quạt\/van trượt
Nguyên tắc: Vòng quay lệch tâm của rôto điều khiển van hoặc van trượt để trượt, chia buồng bơm thành các buồng thể tích thay đổi và hoàn thành việc truyền khí thông qua thay đổi âm lượng.
Các tính năng: Thiết kế con dấu dầu có thể làm giảm rò rỉ, nhưng có thể làm ô nhiễm khí; Các biến thể khô (như bơm vít) không có dầu.
Bơm chân không rễ
Nguyên tắc: Các cánh quạt kép xoay đồng bộ theo các hướng ngược lại, và truyền khí được hình thành thông qua niêm phong khoảng cách. Nó cần được sử dụng với một máy bơm phía trước để cải thiện mức độ chân không.
2. Bơm chân không truyền động động
Dựa vào chất lỏng hoặc bộ phận cơ học tốc độ cao để truyền động lượng và trực tiếp điều khiển dòng khí:
Bơm bay hơi nước
Nguyên tắc: Hơi nước tốc độ cao chảy qua vòi phun Laval để tạo ra một khu vực áp suất thấp, điều khiển khí bơm để trộn và sau đó được xả qua bộ khuếch tán.
Ứng dụng: Thích hợp cho các kịch bản không biến dạng thấp dòng chảy, chẳng hạn như bay hơi hóa học.
Bơm phân tử và bơm khuếch tán
Nguyên tắc: Lưỡi dao quay tốc độ cao hoặc máy bay hơi nước chuyển động lượng sang các phân tử khí, và xả chúng theo cách định hướng để tạo thành chân không cao (lên đến 10⁻⁵PA trở xuống).
3. Các phân loại và bổ sung khác
Phân loại theo độ chân không : Máy hút bụi thấp (như bơm vòng chất lỏng), chân không trung bình (bơm rễ), chân không cao (bơm khuếch tán).
Thiết kế đặc biệt : Ví dụ, bơm chân không nước lưu hành duy trì sự ổn định của vòng nước bằng cách liên tục bổ sung nước lạnh để đạt được sự khởi đầu và dừng tự động.
Summary: Việc lựa chọn máy bơm chân không cần xem xét toàn diện các tính chất khí, mức độ chân không mục tiêu và các yêu cầu môi trường. Bơm dịch chuyển biến thể phù hợp với chân không thô và bơm truyền động động vật phù hợp cho các kịch bản chân không cao.
